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关于洁净室空气净化系统优化策略

2025-03-27 11:23:02

一、系统设计优化合理布局与分区:根据洁净室的工艺流程和洁净度要求,合理划分不同洁净等级的区域,减少高洁净度区域的面积。例如,将污染源集中布置在特定区域,便于局部加强净化措施。优化气流组织:合理布置送风口、回风口和排风口,确保气流均匀分布,避免涡流和死角。对于单向流洁净室,采用满布高效过滤

一、系统设计优化

 合理布局与分区:根据洁净室的工艺流程和洁净度要求,合理划分不同洁净等级的区域,减少高洁净度区域的面积。例如,将污染源集中布置在特定区域,便于局部加强净化措施。

 优化气流组织:合理布置送风口、回风口和排风口,确保气流均匀分布,避免涡流和死角。对于单向流洁净室,采用满布高效过滤器送风顶棚和连续孔板回风地沟;对于非单向流洁净室,采用上送下回或上送上回的气流组织形式

 精确计算送风量:根据洁净室的面积、高度、人员数量、设备发尘量等因素,精确计算所需的送风量和换气次数。避免过度设计,减少不必要的能源消耗。

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二、设备选型与配置优化

 选择高效过滤器:采用高效颗粒空气(HEPA)过滤器或超高效颗粒空气(ULPA)过滤器,提高空气过滤效率,降低系统压降。

 采用节能型空调设备:选用高效节能的空调机组、风机、压缩机等设备。例如,变频空调机组可以根据实际需求调节制冷量,实现节能。

 配置热回收装置:在洁净室空调系统中安装热回收装置,如板式热交换器、转轮热交换器等,回收排风中的热能用于预热或预冷新风。

三、运行控制优化

 智能控制系统应用:引入智能控制系统,实时监测洁净室内的温度、湿度、微粒浓度等参数。根据监测数据自动调节空调系统、风机、过滤器等设备的运行状态。

 动态调整运行参数:在非生产状态下,根据洁净室内的实际污染水平,动态调整换气次数和送风量。例如,减少静态下的换气次数,降低能源消耗。

 优化空调系统运行时间:根据洁净室的生产计划,合理安排空调系统的运行时间。在非生产时段,可以降低系统的运行频率或关闭部分设备。

四、维护管理优化

 定期维护与校准:定期对空气净化系统的关键设备进行维护和校准。例如,定期更换过滤器、清洗冷凝器和蒸发器,确保设备处于良好运行状态。

 加强人员培训:提高操作人员对洁净室空气净化系统重要性的认识,使其能够正确操作和维护设备。减少人为因素导致的系统故障和能源浪费。

 建立环境质量管理体系:明确洁净室空气净化系统的管理责任分工、流程标准和记录保存要求。确保系统的运行和维护工作规范、有序进行。

五、AMC控制措施优化

AMC(气态分子污染物) 包括酸性气体(SOx、NOx)、碱性气体(NH3)、VOCs、硅氧烷等,需针对性控制:

1. AMC源头控制

  • 工艺隔离

    • 将产生AMC的工艺设备(如蚀刻机、清洗机)置于 负压隔离舱 内,独立排风处理。

    • 使用 低挥发材料:设备润滑剂、密封胶等选用无硅、低VOCs型号。

  • 新风预处理

    • 室外新风经 化学过滤器(如活性炭+浸渍氧化铝)预处理,去除大气中的AMC(如臭氧、硫化物)。

2. AMC过滤技术

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  • 模块化设计

    • 在洁净室回风管道或FFU进风口嵌入 可更换化学过滤模块,降低系统改造难度。

    • 采用 并联过滤单元,支持在线更换,避免停机。

3. AMC监测与反馈控制

  • 实时监测系统

    • 部署 在线质谱仪(AMS) 或 傅里叶红外光谱仪(FTIR),监测关键AMC种类(如甲苯、异丙醇浓度)。

    • 在敏感区域(如光刻区)设置 硅片暴露测试点,定期检测表面分子沉积量。

  • 智能联动控制

    • 根据AMC浓度数据,自动调节化学过滤器风阀开度或启用备用过滤单元。

4. 维护与再生策略

  • 过滤器寿命管理

    • 通过 重量法+电阻法 判断活性炭饱和程度,结合AMC传感器数据预测更换周期。

    • 对可再生的化学滤芯(如部分沸石滤材)进行 高温脱附再生,降低更换成本。

  • 系统验证

    • 每季度进行 AMC扫频测试(SEMI F21-1102标准),确保污染物浓度低于阈值(如NH3<1ppb)。


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  在动态工况下,由于系统内部分末端的控制阀关闭时,导致系统内的压力 升高,使得其他盘管的水量增加,而根据盘管的散热特性,这种流量的增加并 不能带来与之相配的散热量的增加,而使得这些盘管所配用的调节阀动作幅度 小于将盘管水温降限制与设计值所需的动作幅度;此时导致系统处于低温差大 流量工况,而水泵功耗远大于实际所需。

同样对风机盘管的小型末端采用开关控制也会导致在部分负荷时流量大于 实际所需。对于盘管而言,即使通过流量为额定流量的 200%时,盘管的热输出 也仅增加 10%。从而使水在通过盘管时不能充分换热,导致系统出现小温差和  过流现象。在 50%系统负荷时,由于散热盘管的热性,盘管实际仅需 18%的流量,而如果采用开关控制,则阀门会开启 50%左右的平均时间,在 50%的开启时 间内通过 100%的流量(或更多),相对平均的流量为 50%,远大于实际所需的18%。。

后果:此类水力平衡问题的静态部分,往往是由较为保守的水泵选型以及 管道水力计算造成,盲目放大管径以及对于水泵扬程附加了过多的安全系数。 该问题可以通过对系统水力平衡状态进行解决,从而改善水泵工况点,降低水 泵功耗。盲目更换水泵、或者为水泵加装变频装置,造成高额投资及运行费 用。

这种情况在上世纪 80~90 年代,空调开始大规模进入民用建筑,设计院的 经验尚不丰富,加之人们传统的观念,选型往往偏大,而动态的过流问题,会 造成水泵的功耗大于实际所需。

3.3室内温度波动、稳定时间长

原因:动态。

描述: 由于暖通换热系统及控制系统的特性要求,需要控制阀门的控制信 号与盘管热输出之间为线性关系。系统内平衡阀与控制阀选择不当, 会导致阀 门控制信号与热输出之间的关系成为上抛型。在阀门小开度时,造成室内温度 波动;而在阀门大开度时造成室内温度的稳定时间过长。

后果: 温度波动及温度的稳定时间过长,会导致室内舒适度下降,同时导 致控制阀门的执行机构的“过劳”。

3.4冷机小温差综合症

原因:动态及其他

描述:当系统出现大流量小温差运行时,传统的自动控制系统会根据流量

决定冷机启停台数,而开启的冷机均工作于部分负荷下,而冷机效率在接近满 载时最高,部分负荷时效率会大幅下降。

而出现大流量小温差有很多原因,除去采用一次泵定流量系统、负荷侧变 流量冷机侧定流量系统、二次泵系统这三种系统本身的原因外,另一个更重要 的原因是未根据变流量系统选择正确的平衡阀和调节阀。而这类问题往往会被 忽视,或归因于冷机本身,而无法得到正确解决。部分负荷时,传统空调系统 的内温差远低于设计值。并且随着负荷的降低,情况进一步恶化。这种典型的 暖通空调系统,全年大部分时间是处于 10%~50%的部分负荷运行中的。

后果:冷机在小温差工况下的效率降低,导致耗能大幅增加,严重时,离 心机等对负荷调节比较敏感冷机,会导致冷机的喘振和损坏。同时由于系统小 温差大流量运行,系统的输送效率比较低,水泵功耗高,由于冷机和水泵能耗 在空调系统中占有很高的比重,因此对这两者的优化运行是提高整个系统效率 的关键。

实例分析:在某电子厂房项目中,空调水系统运行初期,会发生整个机房 乃至附近房间噪声明显加大,甚至机组和楼板发生共振,震动随着墙体和管道 传到主车间,当整个系统有负荷变化的时候,这种情况就会好转。为了解决这 一现象,对机房内的管道增加了许多固定支架,但是效果甚微,然后就集中项 目部丰富经验的工程师,一起查找原因,最后经过对整个系统的排查,认定了 是低负荷运转而使冷机发生喘振现象。

因为离心式制冷机组,在压缩机吸气口压力或流量突然降低,低过最低允 许工况时,压缩机内的气体由于流量发生变化会出现严重的旋转脱离,形成突 变失速,这是叶轮不能有效提高气体的压力,导致压缩机出口压力降低,系统 管网的压力没有突然降下来,使得气体从压缩机倒流,系统管网压力低至压缩 机出口压力时,气体向系统管网流动,如此反复,就出现了喘振现象。

为了解决这个问题,为每台冷机均设置了动态平衡阀,对系统水力分配情 况进行调节,当系统负载处于部分运行时,冷冻水流量减小的情况下,动态平 衡阀则根据所负担的支管路压力变化情况自行调剂其开启度,循环泵工作频率 亦随之变化,避免了大流量小温差运行工况,冷机质量效率提高,减少了冷机 的工作时段,同时减少了水泵的功耗,并降低了系统的运行成本。

4水力平衡方案的要点

系统的水力平衡方案或部件需要解决以下问题:

解决静态水力平衡问题,防止因静态水力问题导致冷热不均及水泵过流问

题;适应末端变负荷运行的要求,为末端提供从低负荷到全负荷全过程稳定的 水力工况;适应末端变负荷运行的要求,系统部分负荷运行时,导致系统压力 波动时,能将此压力波动吸收、屏蔽,避免影响末端调节阀两端压力波动;同 时防止欠流风险,最大程度发挥变流量系统的节能潜力;适应末端变负荷运行 的要求,提高末端调节阀的控制精度;适应系统变流量运行的要求,为冷机及 水泵提供高效运行的基础条件,消除系统小温差大流量运行现象。

5  空调水力平衡应该注意的问题:

5.1空调水系统应优先采用一次泵变流量系统

由于空调的水力平衡影响到整个系统的方方面面,同时也受到各方面的影 响,空调水系统应采用变流量系统,应优先采用一次泵变流量系统,以最大限 度提高系统在部分负荷时的效率;泵的变频控制应采用最不利环路定压控制, 以发挥系统节能潜力。系统水泵选择以及运行中优化设定时,应以计算和实测 相结合,避免保守的水泵选型造成系统功耗增加。

5.2安装静态或动态平衡阀

结合工程实际情况,定流量系统用静态平衡阀,就是说在终端用户使用压 力和流量变化不大的情况下最好使用静态平衡阀,既达解决问题又起到了节约 的目的。

变流量系统用动态压差平衡阀,即在终端用户使用压力和流量变化较大的 情况下使用动态平衡阀,在一定的压力范围内限制末端设备的最大流量或自动 恒定流量,在大型、复杂、空调负荷不恒定的工程中,简化了系统调试过程, 缩短了调试时间,特别是在异程水系统中,可以很容易的实现水力工况平衡, 满足设计环境温度的要求,并且在空调系统的运行中,末端设备不受其他末端 启停的影响。在大型集中空调系统中,在空调设备(空气处理机及风机盘管) 末端装置设置平衡阀,通过三通或两通电动阀保证设备所需流量,平衡阀就实 现了水力工况调节。在冷热源、冷却塔、水泵等处设计管线受限时,用平衡阀 来避免负荷偏载,保证设备正常运行,精确的控制室内的温度。

5.3动态平衡阀不应多级设置

在空调设置中,手动调节阀是多级设置的,而按照这一做法多级设置动态 平衡阀是不对的,如果下级的一个或多个设备关闭电动阀,而上级平衡阀仍保 持流量不变,则会造成下级未关闭的设备流量增加,不但加大了水流噪声,而 且也增加了不必要的投资。

结论

定流量系统与变流量系统是多种多样的,在这里只简单地分析几种典型的 形式。需要注意的是,在实际的工程设计中,应根据工程投资和系统的精度要 求合理地选用水力平衡设备,既要满足工程设计和技术规范要求,同时满足最 小投资和最低运行成本的方案。




暖通空调系统水力平衡解析
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